Penelitian ini bertujuan untuk menganalisa pengaruh tunjangan kinerja, pengawasan dan motivasi terhadap kinerja pegawai. Penelitian ini dilakukan pada pegawai BPS Sumatera Utara dengan populasi berjwnlah 799 orang. Pemilihan sampel sebanyak 300 responden dilakukan dengan menggunakan teknik Proportionate Stratified Random Sampling. Variabel independen pada penelitian ini adalah tunjangan kinerja dan pengawasan, sedangkan variabel dependennya adalah kinerja pegawai dengan motivasi sebagai variabel intervening. Instrumen penelitian yang digunakan adalah kuisioner dan pengukuran variabelnya dilakukan dengan menggunakan skala Likert. Analisa data di lakukan dengan menggunakan metode Structural Equation Model (SEM). Perangkat lunak yang digunakan untuk analisis struktural adalah AMOS 23 dan untuk analisis deskriptif menggunakan SPSS 25. Hasil analisis menunjukkan bahwa tunjangan kinerja dan pengawasan berpengaruh positif signifikan terhadap motivasi pegawai BPS Sumatera Utara, begitu juga halnya dengan pengawasan dan motivasi yang berpengaruh positif signifikan terhadap kinerja pegawai BPS Sumatera Utara, akan tetapi tunjangan kinerja tidak signifikan berpengaruh terhadap kinerja pegawai BPS Sumatera Utara. Berdasarkan hasil uji Sobel diketahui bahwa terdapat pengaruh variabe] intervening yang signifikan. Artinya tunjangan kinerja berpengaruh positif signifikan terhadap kinerja pegawai BPS Sumatera Utara melalui variabel motivasi. Begitu juga dengan variabel pengawasan yang berpengarub positif signifi.kan terbadap kinerja pegawai BPS Sumatera Utara melalui variabel motivasi. Dari hasil analisis pengaruh langsung, tidak langsung dan pengaruh total, dapat disimpulkan bahwa untuk meningkatkan kinerja pegawai agar lebih optimal maka yang harus dilakukan oleh manajemen di BPS Sumatera Utara adalah dengan bemsaha untuk lebih meningkatkan motivasi kerja pegawai. Sedangkan untuk meningkatkan motivasi kerja pegawai, pengawasan merupakan faktor yang paling dominan.